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Advanced Semiconductor Technology Laboratory

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저결함(<1x10^4 cm^-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1kV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발
과제명 저결함(<1x10^4 cm^-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1kV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발
참여기관 소재부품기술개발사업, 산업통상자원부
과제기간 2017.07-2023.12
저결함(<1x10^4 cm^-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1kV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발