고출력 GaN 전력 소자 구현을 위한 Surface Passivation 및 식각 공정의 최적화 연구 | |
---|---|
과제명 | 고출력 GaN 전력 소자 구현을 위한 Surface Passivation 및 식각 공정의 최적화 연구 |
참여기관 | 21세기프론티어 우수유망기술 도약지원사업, 교육과학기술부 |
과제기간 | 2010-2013 |
Advanced Semiconductor Technology Laboratory
고출력 GaN 전력 소자 구현을 위한 Surface Passivation 및 식각 공정의 최적화 연구 | |
---|---|
과제명 | 고출력 GaN 전력 소자 구현을 위한 Surface Passivation 및 식각 공정의 최적화 연구 |
참여기관 | 21세기프론티어 우수유망기술 도약지원사업, 교육과학기술부 |
과제기간 | 2010-2013 |