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Advanced Semiconductor Technology Laboratory

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차세대 반도체소자용 에피성장 측정·분석 및 전력반도체 원천기술 개발
과제명 차세대 반도체소자용 에피성장 측정·분석 및 전력반도체 원천기술 개발
참여기관 산업핵심기술개발사업, 산업통상자원부
과제기간 2014.06-2017.05
차세대 반도체소자용 에피성장 측정·분석 및 전력반도체 원천기술 개발