p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발 > Domestic journal

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발
Title	p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발
Info	한국정보통신학회논문지 (Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering), 제24권, 제2호, pp. 321-324, 2월, 2020.
Name	장원호, 차호영
Link	https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE09308348 273회 연결
p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발