SnO2 나노입자층 형성 및 UV 조사를 활용한 AlGaN/GaN 기반 상온 동작 수소 센서 | |
---|---|
Title | SnO2 나노입자층 형성 및 UV 조사를 활용한 AlGaN/GaN 기반 상온 동작 수소 센서 |
Info1 | 2022년도 반도체공학회 하계학술대회(The Institute of Semiconductor Engineering), Busan, Korea, Jul. 11-13. |
Info2 | W.-T. Choi, J.-J. Kim and H.-Y. Cha |