PEALD AlN 패시베이션을 통한 P-GaN/AlGaN/GaN HFET 소자 연구 | |
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Title | PEALD AlN 패시베이션을 통한 P-GaN/AlGaN/GaN HFET 소자 연구 |
Info1 | 2022년도 반도체공학회 하계학술대회(The Institute of Semiconductor Engineering), Busan, Korea, Jul. 11-13. |
Info2 | J.-H. Yim, W.-H. Jang, J.-J. Kim and H.-Y. Cha |