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Advanced Semiconductor Technology Laboratory

Domestic conference
PEALD AlN 패시베이션을 통한 P-GaN/AlGaN/GaN HFET 소자 연구
Title PEALD AlN 패시베이션을 통한 P-GaN/AlGaN/GaN HFET 소자 연구
Info1 2022년도 반도체공학회 하계학술대회(The Institute of Semiconductor Engineering), Busan, Korea, Jul. 11-13.
Info2 J.-H. Yim, W.-H. Jang, J.-J. Kim and H.-Y. Cha
PEALD AlN 패시베이션을 통한 P-GaN/AlGaN/GaN HFET 소자 연구