P-GaN 게이트 AlGaN/GaN 이종 접합 트랜지스터의 P-GaN 재활성화 공정 > Domestic conference

Advanced Semiconductor Technology Laboratory

P-GaN 게이트 AlGaN/GaN 이종 접합 트랜지스터의 P-GaN 재활성화 공정
Title	P-GaN 게이트 AlGaN/GaN 이종 접합 트랜지스터의 P-GaN 재활성화 공정
Info1	제 30회 한국반도체학술대회(The 30th Korean Conference on Semiconductors), Jeongseon, Korea, Feb. 13-15.
Info2	Y.-R. Yang, J.-H. Yim, W.-H. Jang and H.-Y. Cha
P-GaN 게이트 AlGaN/GaN 이종 접합 트랜지스터의 P-GaN 재활성화 공정