AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터의 격리 공정을 위한 이온주입 공정 연구 > Domestic conference

AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터의 격리 공정을 위한 이온주입 공정 연구
Title	AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터의 격리 공정을 위한 이온주입 공정 연구
Info1	J.-H. Yim, S.-H. Shin, M.-J. Kim, D.-I. Oh, M.-K. Lee, M.-G. Jeong and H.-Y. Cha
Info2	제 31회 한국반도체학술대회(The 31st Korean Conference on Semiconductors), Kyungju, Korea, Jan. 24-26
Link	http://kcs.cosar.or.kr/2024/index.jsp 149회 연결
AlGaN/GaN 이종접합 트랜지스터의 격리 공정을 위한 이온주입 공정 연구