Trench MIS Field Plate 구조를 갖는 수직형 Ga2O3 Schottky barrier diode의 구조 최적화 > Domestic conference

Advanced Semiconductor Technology Laboratory

Trench MIS Field Plate 구조를 갖는 수직형 Ga2O3 Schottky barrier diode의 구조 최적화
Title	Trench MIS Field Plate 구조를 갖는 수직형 Ga2O3 Schottky barrier diode의 구조 최적화
Info1	M.-J. Kim, S.-H. Lee, J.-H. Kim, W.-C. Choi, S.-J. Oh, and H.-Y. Cha
Info2	제 6회 한국산화갈륨기술연구회 전문학술워크숍, Yeosu, Korea, Sep. 6-8
Trench MIS Field Plate 구조를 갖는 수직형 Ga2O3 Schottky barrier diode의 구조 최적화